精密金剛石砂輪的制造
一、磨料的分散與表面處理
精密金剛石砂輪所使用的磨料都是金剛石超細(xì)粉體,由于靜電作用,在砂輪制造過(guò)程中會(huì)發(fā)生團(tuán)聚現(xiàn)象,使磨料非均勻分布,以致影響砂輪的磨削質(zhì)量。此外,超細(xì)粉體與結(jié)合劑的附著能力不強(qiáng)。導(dǎo)致磨料容易脫落,為解決這兩個(gè)問(wèn)題,學(xué)者們對(duì)磨料的分散、增強(qiáng)磨料與結(jié)合劑的附著能力分別做了大量研究。
為了解決金剛石微粉的分散問(wèn)題,學(xué)者們有的用機(jī)械化學(xué)方法研究了水介質(zhì)中納米金剛石的分散方法,有的用石墨化、氧化法來(lái)解決納米金剛石的團(tuán)聚問(wèn)題,有的用超細(xì)粉碎機(jī)械化學(xué)法進(jìn)行納米金剛石硬團(tuán)聚體的解聚研究,最終制得了粒度分布在100nm以?xún)?nèi)、平均40nm可長(zhǎng)期穩(wěn)定的水介質(zhì)納米金剛石懸浮液。另外,學(xué)者們發(fā)現(xiàn)金剛石磨料經(jīng)過(guò)表面處理后,可以提高磨粒與結(jié)合劑的附著力,同時(shí)砂輪的自銳性也有所提高,從而提高砂輪的磨削效率和壽命。
二、結(jié)合劑的種類(lèi)常用的結(jié)合劑有樹(shù)脂、陶瓷、金屬結(jié)合劑。
樹(shù)脂結(jié)合劑砂輪具有自銳性好、有彈性、拋光性能優(yōu)良等優(yōu)點(diǎn),其種類(lèi)有環(huán)氧樹(shù)脂、酚醛樹(shù)脂、聚乙烯醇、氨基甲酸乙酯樹(shù)脂等,學(xué)者們采用高流動(dòng)性耐熱樹(shù)脂研制出具有獨(dú)立氣孔的高濃度低損傷樹(shù)脂結(jié)合劑精密金剛石砂輪,日本某專(zhuān)利產(chǎn)品提出以液體環(huán)氧樹(shù)脂作為結(jié)合劑制造多孔樹(shù)脂結(jié)合劑砂輪,可以提高砂輪的磨削性能。陶瓷結(jié)合劑精密金剛石砂輪具有剛性強(qiáng)、耐熱性好、耐腐蝕性強(qiáng)、不易堵塞發(fā)熱、磨削效率高、修整方便等優(yōu)點(diǎn),曾經(jīng)有學(xué)者采用低熔點(diǎn)結(jié)合劑通過(guò)低溫加熱來(lái)防止金剛石磨粒在燒結(jié)過(guò)程中出現(xiàn)石墨化,成功制出了多孔陶瓷結(jié)合劑金剛石砂輪。金屬結(jié)合劑精密金剛石砂輪具有硬度高、對(duì)磨料把持力好等優(yōu)點(diǎn)。
三、精密金剛石砂輪結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)
近年來(lái),學(xué)者們?yōu)榱颂岣呒庸ば剩?jié)省生產(chǎn)時(shí)間,對(duì)砂輪的結(jié)構(gòu)作了一些創(chuàng)新設(shè)計(jì)。日本三菱公司為改善硅片的平面度,在磨粒層上設(shè)立切縫,并采用花瓣型磨粒層,從而改善了磨削過(guò)程中硅片中心部分的冷卻效果,提高了砂輪的使用壽命。德國(guó)某公司研制了如下圖所示的牙形排列的伸縮式組合砂輪結(jié)構(gòu),A、B分別是細(xì)粒度和粗粒度砂輪塊,通過(guò)砂輪塊A的伸縮實(shí)現(xiàn)精磨和粗磨,相應(yīng)提高了硅片的加工效率和加工精度。
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